近日，团队联合中科院苏州纳米所、长春理工大学合作，在蓝宝石基低损耗氮化铝薄膜制备领域取得重要突破，相关成果发表于国际知名光学期刊《Optics Express》。团队采用1400℃高温金属有机化学气相沉积技术生长氮化铝薄膜，相较传统1175℃生长工艺，薄膜位错密度降低一个数量级，XRD摇摆曲线半高宽大幅减小，表面实现原子级平整；基于该高质量薄膜制备的全刻蚀微环谐振器，在1553 nm波段TE偏振下获5.1×10⁶的高本征品质因子，对应传播损耗低至0.073 dB/cm，且集成微加热器后实现0.65 pm/mW的高效热光调谐，在一个自由光谱范围偏移内本征品质因子仍保持4.1×10⁶以上。该研究解决了蓝宝石基氮化铝薄膜晶体质量差的关键瓶颈，制备的低损耗氮化铝波导平台为片上激光稳频、非线性光子和量子光子芯片等研发奠定重要材料与器件基础，相关工作获国家重点研发计划、国家自然科学基金等项目资助。
论文链接：
OE2026Low-loss AlN films grown on sapphire by high-temperature MOCVD.pdf